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新聞資訊

拓荊公司自主研制的國內首臺12英寸PEALD設備通過客戶驗收

拓荊科技
2018-09-30
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????????20189月底,由沈陽拓荊科技有限公司自主研制的12英寸原子層沉積(Atomic?Layer?Deposition,ALD)設備FT-300T通過了客戶的驗收。

????????ALD設備是集成電路制備過程中關鍵的薄膜沉積設備,被視為先進半導體工藝技術發展的關鍵環節之一。拓荊公司基于已通過生產驗證的高產能PECVD設備平臺,成功研制了國內首臺量產型12英寸ALD設備FT-300T,并迅速推向市場,可應用于28nm以下極大規模集成電路,OLED及先進封裝(TSV)領域,投入28/14nm先進生產線,用于沉積SiO2,SiNx等絕緣薄膜。該設備已成功進入試生產線考核驗證,歷時3個多月,通過了客戶的考核驗收,設備各項性能指標均滿足要求,且達到或超過了國際同類產品的先進水平,這是我國在實現半導體高端裝備國產化進程中的又一重大突破。


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