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產品介紹

PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD設備

產品介紹

PF-300T為拓荊承擔國家“十一五”重大專項,自主設計研發的產品系列。其工藝廣泛用于多技術節點及更先進制程邏輯芯片以及存儲器芯片制程??蓪崿F所有相關介質薄膜的沉積。同時已延伸至先進膜技術,產品涵蓋了高刻蝕選擇比的ACHM硬掩膜、低介電常數的絕緣薄膜及NDC刻蝕阻擋層、超低介電常數的ULK薄膜,可滿足客戶多種技術節點要求。


 
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